用于电光器件的石墨烯晶圆级集成

　　

　　这篇科学论文讨论了在现实系统中使用石墨烯的潜力，以及证明其具有竞争力的性能、可靠性和大规模制造途径的必要性。研究人员使用单层石墨烯电吸收调制器作为测试工具，并将它们集成到 300mm 试点 CMOS 铸造环境中。通过分析来自每个晶圆数百个器件的数据，他们确定并优化了特定处理步骤对性能的影响。优化后，他们展示了 50 dB/mm 的调制深度和高达 15.1 GHz 的电光带宽，用于 25μm 长的设备。这些结果是使用 CMOS 兼容工艺实现的，该工艺允许大批量、低成本制造。研究人员认为，这项工作解决了石墨烯晶圆级集成的瓶颈，并且CMOS兼容的处理使基于石墨烯的器件与同一芯片上的其他光子学和电子学构建块的协集成成为可能。